MKY-JS-600 小型離子濺射儀

小型離子濺射儀采用二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單方便，適用于掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

用戶(hù)可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件，濺射電流。大尺寸的真空腔體設(shè)計(jì)，滿(mǎn)足大樣品的濺射需求。標(biāo)配一片金靶，純度為99.999%，為獲得高質(zhì)量的金膜提供了好的基礎(chǔ)。

技術(shù)指標(biāo)如下：

1、靶（上部電極）：材料：金，直徑：50mm，厚度：0.1mm　純度：99.999%

2、真空室：直徑：160mm，高：120mm

3、樣品臺(tái)（下部電極）：濺射面積：直徑：50mm

4．工作真空： 8×10-2—2×10-1 mbar

5、離子電流表：50mA

6、數(shù)顯計(jì)時(shí)器：根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間。

7、電壓：-1600DVC

8、機(jī)械泵:2升/每秒

9、工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，

10、微型真空氣閥： 配有氬氣專(zhuān)用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)，可連接φ3mm軟管。

11、外型尺寸：360mm×300mm×380mm

備注：JS-600小型離子濺射儀可適用的靶材：金、鉑、銀及氧化鋅

MKY-JS-600 小型離子濺射儀